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國立清華大學 跨領域科學教育中心
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Pushing Lithography for 20 gen Sent/林本堅


講題: Pushing Lithography for 20 gen Sent

講者:林本堅院士

日期:2019/03/14

林本堅博士是清大、交大、台大的特聘講座教授,2011至2015年底是台積電的研發副總和獨一的台積電學院傑出院士。2000年他以資深處長加入台積電時。之前、他在美國的IBM先後擔任Research Staff Member, Research Staff manager及部經理。他鑽研微影學將近半世紀。 林院士是美國工程院院士、中央研究院院士、工業研究院院士、IEEE會士、SPIE會士、台大和俄亥俄州立大學的傑出校友。 林院士得過未來科學大奬的數學與計算機科學奬、SPIE的特殊表揚奬、IEEE西澤潤一勳章、IEEE Cledo Brunetti獎、OSU Lamme功績勳章、SPIE Frits Zernike奬、兩項台積電創新奬、潘文淵文教基金會研究傑出獎、十項IBM發明奬、一項IBM特出技術項貢獻奬。 林院士著作了兩本書、三章書章、133篇論文、78項美國專利。
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